[发明专利]一种反提拉涂膜方法及其装置有效

专利信息
申请号: 201210272871.X 申请日: 2012-08-02
公开(公告)号: CN102764722A 公开(公告)日: 2012-11-07
发明(设计)人: 赵剑曦;李镇祥 申请(专利权)人: 福州大学
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C13/02
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 蔡学俊
地址: 350108 福建省福州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种反提拉涂膜方法及其装置,该装置包括了直流稳压电源、电动推杆、盛溶胶容器和基片固定装置,所述盛溶胶容器为恒温容器,所述盛溶胶容器安装在电动推杆的升降推杆上,所述电动推杆由直流稳压电源控制并通过电压调节其行进速度,所述盛溶胶容器旁侧还设置有用于固定基片的基片固定装置,该装置具有提拉速度可控范围宽、精度高、稳定性好、操作方便、涂膜的连续性好以及装置的制作成本低廉等优点,该装置可在任意形状、多种尺寸的基片上制备厚度从几十纳米到数个微米的薄膜,且制备的薄膜均匀性和一致性好。
搜索关键词: 一种 反提拉涂膜 方法 及其 装置
【主权项】:
一种反提拉涂膜方法,包括盛溶胶容器和基片固定装置,其特征在于:将盛溶胶容器安装在一升降装置上,将基片固定装置固定在升降装置旁侧的静止的结构上,通过升降装置驱动盛溶胶容器上下移动,使得盛溶胶容器与安装在基片固定装置上的基片产生相对运动,以实现反提拉涂膜。
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