[发明专利]一种ITO导电膜汇流电极及其制作方法

摘要

本发明公开一种ITO导电膜汇流电极及其制法，在ITO导电膜的表面镀金属层；在金属层上涂布感光胶；用掩膜版平铺在感光胶表面，用紫外光使感光胶固化成感光层；用显影液去除未固化的感光胶；用蚀刻液使没覆盖感光层的金属层和ITO导电膜被刻蚀留下电极形状；将ITO导电膜放入去胶液中去除固化的感光层；将ITO导电膜浸泡在抗氧化溶液中形成保护层；将柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定，完成汇流电极制作。本发明适应各种线宽线距，适应性强，镀金属工艺使得汇流电极与ITO导电膜可靠接触，可靠性高，还使加工工序减少，加工周期缩短，制造成本降低，金属层使得ITO导电膜加工过程中ITO划伤减少，大大提升了良品率。

主权项

一种ITO导电膜汇流电极，其特征在于：由基材、ITO导电膜、金属层、保护层和柔性电路板组成，ITO导电膜及金属层通过真空溅射镀膜依次溅镀在基材上，ITO导电膜和金属层通过曝光、显影、蚀刻形成电极形状，在电极形状的表面通过抗氧化处理形成保护层，柔性电路板带有标准接口，柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定在一起。