[发明专利]MEMS振子以及振荡器无效
| 申请号： | 201210253367.5 | 申请日： | 2012-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102904543A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 稻叶正吾 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS振子以及振荡器。MEMS振子包括：基板；第1电极，其配置在上述基板的上方；第2电极，其以至少一部分与上述第1电极之间具有空隙的状态被配置，并具有梁部以及支承部，该梁部能够通过静电力沿上述基板的厚度方向振动，该支承部支承上述梁部的一端、并被配置在上述基板的上方，上述支承部的支承上述一端的支承侧面具有从上述基板的厚度方向俯视的状态下弯曲的弯曲部，上述一端被包括上述弯曲部的上述支承侧面支承。 | ||
| 搜索关键词： | mems 以及 振荡器 | ||
【主权项】：
一种MEMS振子，其特征在于，包括：基板；第1电极，其配置在所述基板的上方；第2电极，其在至少一部分与所述第1电极之间具有空隙的状态下被配置，并具有梁部以及支承部，该梁部能够通过静电力沿所述基板的厚度方向振动，该支承部支承所述梁部的一端、并被配置在所述基板的上方，支承所述一端的所述支承部的支承侧面具有，从所述基板的厚度方向俯视的状态下弯曲的弯曲部，所述一端被包括所述弯曲部的所述支承侧面支承。
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