[发明专利]一种机床用长光栅辊压印模具精密电铸加工方法

摘要

本发明公开一种机床用长光栅辊压印模具精密电铸加工方法，包括以下步骤：（1）首先用高硬度金属圆柱体或表面具有导电介质的圆柱状陶瓷作为辊压印模具基体；（2）在模具基体表面涂覆一层光刻胶，然后曝光、显影在辊子上形成整周栅线的光刻胶掩蔽；（3）以光刻过的辊压印模具基体作为电铸原模，使用圆柱精密电铸工艺在该辊压印模具基体表面的金属/导电层裸露处(光刻胶栅线微结构凹腔)沉积金属栅线微结构，然后去除光刻胶栅线微结构，保留精密电铸形成的栅线微结构。使用本发明方法，能够在辊压印模具的金属基体上沉积金属化的光栅栅线，所制造的辊压印模具，具有栅距均匀和栅线槽形一致性好的优点，有效保证了辊压印模具的制造精度。

主权项

一种机床用长光栅辊压印模具精密电铸加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1）辊压印模具基材的制造：选择表面导电的柱状体为辊压印模具基材，即辊子；2）电铸原模的制作：用提拉法在辊子表面涂覆光刻阻蚀胶，然后用紫外光对辊子进行整周曝光，将掩模板上的栅线图形复型到辊子表面光刻胶上面，接着对辊子进行显影处理，去掉被曝光部分或未被曝光部分的光刻胶，从而形成一个表面均布有光刻胶栅线微结构的辊子模具，它将作为精密电铸原模；3）精密电铸制作辊压印模具：将表面具有光刻胶栅线微结构的电铸原模作为阴极，装有金属的钛蓝作为阳极，将阴阳极置于电铸液中进行电铸，电铸原模表面光刻胶栅线微结构凹槽中将会沉积形成金属的栅线微结构，最后去除电铸原模表面的光刻胶栅线微结构，保留电铸形成的金属栅线微结构在辊子表面，从而形成用来压印光栅尺的辊压印模具。