[发明专利]一种MOCVD尾气中氨气回收方法无效
| 申请号： | 201210244528.4 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102728159A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 汤剑波;李东升;宋常征;张敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30;B01D53/04;B01D5/00;B01D3/14;C01C1/12 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MOCVD尾气中氨气回收方法，其特征在于：该方法分为以下6个步骤：步骤1：使用特制的过滤器除去MOCVD尾气中夹带的粉尘；步骤2：将尾气通过一个铺有碱土金属氯化物的吸附床对氨气进行吸附；步骤3：未吸附的氮气、氢气按国家排放标准进行排放；步骤4：加热吸附床，将已经吸附的氨气解吸出来；步骤5：将解吸出来的氨气冷凝为液氨；步骤6：冷凝下来的液氨通过精馏塔进行精馏提纯，放空塔顶轻组分和塔底重组分，收集中间馏分的高纯氨气，并提供给MOCVD机台重复利用。本发明提供的一种MOCVD尾气中氨气回收方法，操作简便，生产成本低，可对氨气进行回收利用，能完全实现节能减排。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 尾气 氨气 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种MOCVD尾气中氨气回收方法，其特征在于：该方法分为以下6个步骤：步骤1：使用特制的过滤器除去MOCVD尾气中夹带的粉尘；步骤2：将尾气通过一个铺有碱土金属氯化物的吸附床对氨气进行吸附，吸附时维持吸附温度在‑10～30℃；步骤3：未吸附的氮气、氢气按国家标准《GB16297大气污染物综合排放标准》进行排放；步骤4：加热吸附床到80～120℃，将已经吸附的氨气从碱土金属氯化物吸附剂中解吸出来；步骤5：将解吸出来的氨气冷凝为液氨；步骤6：冷凝下来的液氨通过精馏塔在‑60～‑40℃温度下进行精馏提纯，放空塔顶轻组分和塔底重组分，分析中间馏分的氨气达到6～7N的纯度时，收集中间馏分的高纯氨气，并提供给MOCVD机台重复利用。
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