[发明专利]掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法有效
| 申请号： | 201210228494.X | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102765871B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 毎田繁;大塚久利;上田哲司;江崎正信 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 氧化 石英玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，其具有反射EUV光的表面，其中将反射表面的中心处原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角(θ)具有至少60度的平均值，其中在反射EUV光的表面中的双折射的快轴以同心方式分布。
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