[发明专利]基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器及检测方法有效
| 申请号： | 201210204625.0 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102735934A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;易真翔 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R25/00 | 分类号： | G01R25/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器，该频率检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，设置在源极（2）和漏极（3）之间栅极（4），设置在在该栅极（4）上方且与栅极（4）相对的悬臂梁（6）。检测方法包括当在下拉电极（8）和悬臂梁（6）之间加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，通过第一压焊块（12）加悬臂梁（6）上的待测微波信号加载到的栅极（4）上，经过一个电容和滤波器之后，通过检测源极（2）和漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的检测。本发明结构简单，易于测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 械砷化镓基 悬臂梁 相位 检测器 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器，其特征在于：该频率检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，设置在源极（2）和漏极（3）之间栅极（4），设置在在该栅极（4）上方且与栅极（4）相对的悬臂梁（6），悬臂梁（6）的一端分别与悬臂梁锚区（7）相连； 在栅极（4）与固定梁锚区（7）之间设有下拉电极（8），下拉电极（8）被绝缘介质层（9）覆盖；源极（2）接地，漏极（3）接正电压；源极（2）和漏极（3）之间通过N型沟道（5）连通，电流方向由漏极（3）到源极（2）；源极（2）和漏极（3）由金和N型重掺杂区形成欧姆接触区构成；栅极（4）由金与N型薄层形成的肖特基接触区构成，栅极（4）接负电压，其用于调整N型沟道（5）耗尽层的宽度，改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流的大小；第一待测输入信号输入悬臂梁锚区（7），第二待测输入信号输入栅极（4）。
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