[发明专利]离子导引装置和离子导引方法有效
| 申请号： | 201210203634.8 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103515183B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张小强;孙文剑 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/42 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种离子导引装置和离子导引方法。本发明的离子导引装置包括多个环形组件，多个环形组件沿同一中心轴线并排分布，其中每个环形组件由多个分立的分段电极围成；电源装置，其将相位相异的射频电压提供至每个环形组件的相邻的分段电极上，将相位相异的射频电压提供至沿中心轴线的相邻的分段电极上，且将直流电位提供至每个环形组件的分段电极上，其中，直流电位的分布使离子在沿中心轴线方向运动时发生朝向所述离子导引装置径向的偏转。这种离子导引装置和方法可以实现一定真空度下的离子传输和聚焦，特别是可以实现离子的偏轴传输以降低中性成分噪音。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 导引 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种离子导引装置，其特征在于，包括：多个环形组件，所述多个环形组件沿同一中心轴线并排分布，其中每个环形组件由多个分立的分段电极围成；电源装置，其将相位相异的射频电压提供至所述每个环形组件的相邻的分段电极上，将相位相异的射频电压提供至沿所述中心轴线的相邻的分段电极上，且将直流电位提供至所述每个环形组件的分段电极上，其中，所述直流电位的分布使离子在沿所述中心轴线方向运动时发生朝向所述离子导引装置径向的偏转，在所述多个环形组件的至少一部分环形组件中，组成同一环形组件的多个分段电极的长度比例沿所述中心轴线变化。
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