[发明专利]一种太阳能电池制备扩散工艺无效
| 申请号： | 201210190464.4 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN102691107A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 段少雷;韩帅君;梁冬青;李阳 | 申请（专利权）人： | 上海超日（洛阳）太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人： | 陆君 |
| 地址： | 471900*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种涉及太阳能电池加工领域的太阳能电池制备扩散工艺，所述的工艺采用两步变温再分布来改善提高片内方阻的均匀性，从而相应有效的弥补了现有的普通闭管式扩散炉因气场及热场不均匀而导致片内方阻不均匀的不足，因此不但使形成的P－N结更加平整，而且还达到了在烧结工序中有效减少异常片出现的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制备 扩散 工艺 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池制备扩散工艺，其特征是：所述的工艺步骤如下：A、进桨：将相应的硅片送进扩散炉的炉管中，并同时通入15～25L/min的大氮，扩散炉温度为770～810℃；B、温度保持：在炉门关闭后，通入5～20L/min的大氮，扩散炉温度为770～810℃，时间为10～15min；C、低温通源：将1.5～2L/min且混合POCL3的小氮通入炉内，并同时通入1.5～2L/min的氧气和20～25L/min的大氮，扩散炉温度为810～830℃，时间为3～5min；D、变温通源：将0.8～1.2L/min 且混合POCL3的小氮通往炉内，并同时通入0.5～1L/min的氧气和15～20L/min的大氮，扩散炉温度为850～870℃，时间为8～12min；E、高温通源：将0.8～1.2L/min且混合POCL3的小氮通入炉内，并同时通入0.5～1 L/min的氧气和15～20L/min的大氮，扩散炉温度为850～870℃，时间为10～12min；F、高温再分布：在不通源的情况下，同时通入2～2.5L/min的氧气和15～20L/min的大氮，扩散炉温度为850～870℃，时间为3～5min；G、低温再分布：继续同时通入2～2.5L/min的氧气和15～20L/min的大氮，扩散炉温度为820～840℃，时间为8～10min；H、降温：将扩散炉温度降到770～810℃时，同时通入15～20L/min的大氮，时间为10～15min；I、出桨：在取出硅片的同时通入15～20L/min的大氮，扩散炉温度为770～810℃。
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