[发明专利]着色感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201210186568.8 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN102819188B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 桐生泰行 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种着色感光性树脂组合物，其含有(A)染料；(B1)具有来源于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、和来源于具有碳数2～4的环状醚结构和烯属不饱和键的单体的结构单元的共聚物(侧链没有碳‑碳不饱和双键)；(B2)侧链具有碳‑碳不饱和双键、重均分子量为10,000以上且100,000以下的树脂；(C)重均分子量为3,000以下的聚合性化合物；以及(D)聚合引发剂。通过本发明，可以抑制由着色感光性树脂组合物形成的组合物层的未曝光部的一部分在显影时发生剥离、减少图案上异物。 | ||
| 搜索关键词： | 着色 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种含有(A)、(B1)、(B2)、(C)及(D)的着色感光性树脂组合物，其中，所述(B1)的含量相对于(B1)和(B2)的总量为30～95质量％，(A)染料；(B1)具有来源于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、和来源于具有碳数2～4的环状醚结构和烯属不饱和键的单体的结构单元的共聚物，其中，所述共聚物的侧链没有碳‑碳不饱和双键；(B2)侧链具有碳‑碳不饱和双键、重均分子量为10,000以上且100,000以下的树脂；(C)重均分子量为3,000以下的聚合性化合物；(D)聚合引发剂，其中，所述具有碳数2～4的环状醚结构和烯属不饱和键的单体为下述式(I)或式(II)所示的化合物，式(I)及式(II)中，Ra及Rb各自独立地表示氢原子或碳数1～4的烷基，该烷基所含的氢原子还可被羟基取代，X1及X2各自独立地表示单键、‑Rc‑、*‑Rc‑O‑、*‑Rc‑S‑、*‑Rc‑NH‑，Rc表示碳数1～6的亚烷基，*表示与O的结合键。
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