[发明专利]在凸球面上扫描喷涂光刻胶的装置及方法无效
| 申请号： | 201210184992.9 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN102707572A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 董连和;冷雁冰;孙艳军;陈哲 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 在凸球面上扫描喷涂光刻胶的装置及方法属于光刻技术领域。现有的机械扫描方式只适用于平面工件。本发明为：工件卡具转轴的轴线z呈垂直形态并由转动电机驱动，喷嘴由悬臂吊装在工件卡具上方，喷嘴轴线与工件卡具转轴轴线z相交；悬臂摆轴轴线x与转轴轴线z正交。光学元件由工件卡具夹持，工件卡具以角速度旋转；喷嘴接近光学元件表面，绕摆轴轴线x移动同时恒流量喷胶，光学元件待涂胶面为凸球面，凸球面球心位于工件卡具转轴轴线z与悬臂摆轴轴线x的交点O，凸球面为半球或球冠，其底面呈水平状态；喷嘴在平面y-z内沿圆弧匀加速或均减速移动，该圆弧曲率中心位于点O，该圆弧曲率半径r2大于凸球面曲率半径r1的部分为喷嘴与凸球面的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 扫描 喷涂 光刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种在凸球面上扫描喷涂光刻胶的装置，工件卡具（1）的转轴（2）的轴线z呈垂直形态并由转动电机（3）驱动，喷嘴（4）由悬臂（5）吊装在工件卡具（1）上方，其特征在于，喷嘴（4）轴线与工件卡具（1）转轴（2）轴线z相交；悬臂（5）的摆轴（6）的轴线x与转轴（2）的轴线z正交。
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