[发明专利]一种评估半导体器件可靠性的方法无效

专利信息
申请号: 201210179549.2 申请日: 2012-06-04
公开(公告)号: CN102662141A 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 陈小华;景昌忠;王毅 申请(专利权)人: 扬州扬杰电子科技股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 225008 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种评估半导体器件可靠性的方法。涉及对成品半导体器件温度冲击、循环试验方法。提供了一种能适应半导体器件的温度试验需要,且成本低的评估半导体器件可靠性的方法。选取经质量检验合格的半导体器件1~50只,按以下步骤进行:1)、配制高温检测液;2)、配制低温检测液;3)、将所述半导体器件浸入所述高温检测液中;然后迅速浸入所述低温检测液中;随即再第二次浸入所述高温检测液中;随即再第二次浸入所述低温检测液中;4)、将所述半导体器件从所述低温检测液中取出,采用乙醇清洗、烘干,完毕。在所述乙醇清洗、烘干工序后,再对所述半导体器件进行电性检测。本发明操作方便易行,无污染,可将其推广为整个行业的一种试验评估手段。
搜索关键词: 一种 评估 半导体器件 可靠性 方法
【主权项】:
一种评估半导体器件可靠性的方法,选取经质量检验合格的半导体器件1~50只,其特征在于,按以下步骤进行:1)、配制高温检测液;将甘油加热至250~260℃,保温,待用;2)、配制低温检测液;将防冻液降温至‑38~‑40℃,确保防冻液仍为液态;3)、将所述半导体器件浸入所述高温检测液中,静置2‑4min;然后迅速浸入所述低温检测液中,静置0.8‑1.2min;随即再第二次浸入所述高温检测液中,静置1.5‑2.5min;随即再第二次浸入所述低温检测液中,静置0.8‑1.2min;4)、将所述半导体器件从所述低温检测液中取出,采用乙醇清洗、烘干,完毕。
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