[发明专利]大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法有效
| 申请号： | 201210172475.X | 申请日： | 2012-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102721529A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 李斌成;曲哲超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/04 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，根据光腔衰荡技术原理，将第i束激光(i＝1，…N，N＞2)注入由高反射镜构成稳定的第i个初始光学谐振腔，记录光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合得到第i个初始光学谐振腔在第i束激光波长处的衰荡时间τ0i；同样，在初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测大口径反射光学元件构成稳定的第i个测试光学谐振腔，待测大口径反射光学元件置于二维位移平台上，记录光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合得到第i个测试光学谐振腔在第i束激光波长处的衰荡时间τi，通过τ0i和τi可得到待测高反射镜在第i束激光波长处的反射率Ri，通过移动二维位移平台可以对待测大口径反射光学元件实现反射率二维成像测量。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 反射 光学 元件 反射率 扫描 测量 波长 集成 方法 | ||
【主权项】：
1.大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：（1）第i束激光注入由高反射镜构成稳定的第i个初始光学谐振腔，记录光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合出第i个初始光学谐振腔在第i束激光波长处的衰荡时间τ0i，i＝1，…，N；（2）在第i个初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测大口径反射光学元件，构成稳定的第i个测试光学谐振腔，待测大口径反射光学元件置于二维位移平台上，位移平台每步进一次，记录一次光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合出第i束激光在待测大口径反射光学元件表面(x,y)位置处时第i个测试光学谐振腔的衰荡时间τi(x,y)，通过τ0i和τi(x,y)得到待测大口径反射光学元件表面(x,y)位置在第i束激光波长处的反射率Ri(x,y)，计算公式为![]()
其中L0i为第i个初始光学谐振腔腔长，Li为第i个测试光学谐振腔腔长，c为光束；通过扫描位移平台位置，得到待测大口径反射光学元件的反射率分布图。
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