[发明专利]压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置无效
| 申请号: | 201210172105.6 | 申请日: | 2012-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN102810627A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
| 发明(设计)人: | 大桥幸司 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;B41J2/135;B41J2/045 |
| 代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;孙丽梅 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置,所述压电元件能够以较小的驱动电压而获得较大的变形。压电元件具有:压电体膜,其由包含锆钛酸铅的钙钛矿型结晶构成;电极,其被设置于压电体膜上,源自压电体膜的(100)面的X射线的衍射波峰位置(2θ)在21.89以上21.97以下,并且,(200)面半峰全宽(2θ)在0.30以上0.50以下。液体喷射头具备该压电元件,液体喷射装置具备该液体喷射头。 | ||
| 搜索关键词: | 压电 元件 液体 喷射 以及 装置 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,具有:压电体膜,其由至少包含Pb、Ti以及Zr的钙钛矿型结晶构成;电极,其被设置于该压电体膜上,源自所述压电体膜的(100)面的X射线的衍射波峰位置(2θ)在21.89以上21.97以下,并且,(200)面半峰全宽(2θ)在0.30以上0.50以下。
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