[发明专利]氰基金刚烷化合物和聚合物无效
| 申请号： | 201210170130.0 | 申请日： | 2005-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102850485A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 裴荣喆;R·J·卡那纳格 | 申请（专利权）人： | 罗姆及海斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/34 | 分类号： | C08F220/34;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了氰基金刚烷化合物，含有该化合物聚合的单元的聚合物，和含有这些聚合物的光致抗蚀剂组合物。优选的本发明的化合物用于在250nm以下的波长，例如248nm和193nm波长成像的光致抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 基金 化合物 聚合物 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物，其特征在于，该聚合物含有金刚烷基，在所述金刚烷基的环上2或4位被氰基取代，所述聚合物按总聚合物单元计算含有至少1摩尔％氰基金刚烷基，平均分子量为800-100,000，其中，所述聚合物含有下列式V的结构：![]()
其中A和B中的至少一个含有氰基金刚烷基，另一个或两个聚合物基团可以是不同的聚合物单元，包含光酸不稳定的基团、酸酐或内酯、反差增强基团、抗蚀增强基团、或者含有脂环基团的聚合的酯；R1、R2和R3分别是氢或可任选取代的C1-6烷基；和x、y和z是各重复单元基于总聚合单元的摩尔百分数，x和y分别大于0，z是0或大于0。
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