[发明专利]微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备

摘要

本发明涉及一种微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备方法，包括：（1）清洗微通道；（2）配制锌盐的醇溶液和碱的醇溶液，然后同时将所述的两种溶液推入清洗后的微通道内，加热保温，烘干得已生长有ZnO晶种的微通道；（3）配制锌盐与氟盐混合水溶液、碱的水溶液，然后将所述的两种溶液同时推入上述已生长有ZnO晶种的微通道内，连续通入0.5～3h后停止输送溶液，升温至130～200℃烘1～4h；最后用去离子水清洗并在130～200℃下烘1～4h，即可。本发明的制备方法简便，操作简单，本发明得到的薄膜的膜与基底结合牢固，生长形貌多样、均一，膜厚可控，厚度为0.5～50μm，可实现对微通道内壁的修饰。

主权项

一种微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备方法，包括：（1）首先将微通道用酸洗液在60～80℃下浸泡10～30min，然后去离子水冲洗，接着用碱洗液在60～80℃下浸泡10～30min，再用去离子水冲洗，最后烘干，得到清洗后的微通道；（2）配制浓度为0.5mM～50mM锌盐的醇溶液和2mM～0.2M碱的醇溶液，然后分别以10μL/min～100μL/min的速度同时将所述的两种溶液推入清洗后的微通道内，待溶液充满微通道后，停止输送；然后于40～60℃保温2～4h，再升温至70～90℃保温2～4h，最后升温至130～200℃烘1～4h，即得生长有ZnO晶种的微通道；（3）配制总浓度为0.01M～2M的锌盐与氟盐的混合水溶液、浓度为0.01M～2M碱的水溶液，然后在70～90℃下分别以10μL/min～50μL/min的速度将所述的两种溶液同时推入上述已生长有ZnO晶种的微通道内，连续通入0.5～3h后停止输送溶液，再升温至130～200℃烘1～4h；最后用去离子水清洗并在130～200℃下烘1～4h，即可得到微通道内表面上定向生长的F掺杂ZnO多孔薄膜。