[发明专利]焊球阵列用作高度垫块及焊料固定物无效
| 申请号: | 201210148634.2 | 申请日: | 2012-05-14 |
| 公开(公告)号: | CN103426780A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
| 发明(设计)人: | 石磊;陆爱华;薛彦迅 | 申请(专利权)人: | 万国半导体(开曼)股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/488 |
| 代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
| 地址: | 英属西印度群岛开曼群岛大开曼岛K*** | 国省代码: | 开曼群岛;KY |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明一般涉及一种半导体功率器件的贴片方法,更确切的说,本发明旨在提供一种在芯片的粘贴步骤中利用焊球阵列作为高度垫块及焊料固定物的方法。先在一金属基座顶面的贴片区设置一个由垫块构成的阵列,并在贴片区涂覆一层厚度不低于垫块高度的导电的粘合材料,之后利用粘合材料将芯片粘贴至贴片区,粘合材料及阵列位于所述背部金属层和金属基座的顶面之间。该阵列用于控制背部金属层和金属基座的顶面之间的粘合材料的厚度,以及用于固定芯片以防止其在粘合材料上发生旋转。 | ||
| 搜索关键词: | 阵列 用作 高度 垫块 焊料 固定物 | ||
【主权项】:
一种包含有背部金属层的芯片的贴片方法,该背部金属层设置在所述芯片的背面,其特征在于,包括以下步骤:在一金属基座顶面的贴片区设置多个高度一致的垫块以构成一个阵列;在阵列区涂覆一层厚度值不低于垫块高度值的导电的粘合材料;利用所述粘合材料将所述芯片粘贴至金属基座顶面的贴片区,所述粘合材料及由垫块所构成的所述阵列位于所述背部金属层和金属基座的顶面之间;其中,所述阵列用于控制背部金属层和金属基座的顶面之间的所述粘合材料的厚度,以及用于固定所述芯片以防止其在所述粘合材料上发生旋转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





