[发明专利]用于薄膜太阳能电池的磁控溅射设备及其控制系统有效
| 申请号： | 201210143679.0 | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102644056A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 宋光耀;李毅;刘志斌;翟宇宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 张艺影 |
| 地址： | 518029 广东省深圳市福田区深南大道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于薄膜太阳能电池的磁控溅射设备及其控制系统，属于磁控溅射镀膜技术领域，解决所镀膜层的厚度一致性等技术问题。磁控溅射设备包括安装在真空腔室内的旋转靶，该旋转靶呈筒状，其上装有可移动的磁体，靶筒外壁上装有靶材，内部装磁体，靶轴贯穿靶筒，磁体的移动机构装在靶轴的一端，靶轴的另一端装有靶材旋转机构。旋转靶电源，其一端与真空腔体内的阴极连接，另一端连接工控机，该工控机与移动机构控制器及移动机构相互连接，形成闭环控制系统，由电脑程序控制磁体移动。积极效果是通过闭环控制系统调节靶电源以及磁铁和靶材之间距离，保证所镀膜层厚度的均匀性和致密度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 太阳能电池 磁控溅射 设备 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
一种用于薄膜太阳能电池的磁控溅射设备，包括安装在真空腔室内的旋转靶，其特征在于所述旋转靶上装有可移动的磁体，该旋转靶呈筒状，其外壁上装有靶材，内部装磁体，靶轴贯穿靶筒，磁体的移动机构装在靶轴的一端，靶轴的另一端装有靶材旋转机构。
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