[发明专利]数值孔径控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法有效
| 申请号： | 201210142509.0 | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102998790B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 崔珉硕;李昇浣;金云培;李银圣;丁奎东;张钟贤 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G02F1/29;G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 屈玉华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了数值孔径（NA）控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法。该NA控制单元包括孔径调节单元，控制光透射穿过的孔径；以及聚焦控制单元，设置在关于孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的焦距。该可变光学探测器包括光透射单元；准直器，将透射穿过光透射单元的光准直为平行光；NA控制单元，将光聚焦在要被检查的样品上；以及扫描器，改变透射穿过光透射单元的光的路径，使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光来扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 数值孔径 控制 单元 可变 光学 探测器 以及 深度 扫描 方法 | ||
【主权项】：
一种数值孔径控制单元，包括：孔径调节单元，调节光透射穿过的孔径；以及聚焦控制单元，设置在关于所述孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过所述孔径的光并具有可调节的焦距，其中所述孔径调节单元包括：第一腔室，形成流体在其中流动的空间；以及第一流体和第二流体，容纳在所述第一腔室中，彼此不混合，所述第一流体和所述第二流体中的一个由具有光透射性质的材料形成，另一个由具有光阻挡性质或光吸收性质的材料形成，以及其中光通过其透射的所述孔径基于所述第一流体与所述第二流体之间的界面位置的变化来调节，以及其中所述第一腔室的区域包括：第一通道；和第二通道，设置在所述第一通道上方并连接到所述第一通道，其中所述孔径的范围由在所述第一通道和所述第二通道的每个中发生的所述第一流体与所述第二流体之间的界面位置的变化来限定。
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