[发明专利]用于在线SEM观察的SEM样品夹具及SEM样品观察方法有效
| 申请号： | 201210138018.9 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102646566A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 袁超 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于在线SEM观察的SEM样品夹具及SEM样品观察方法，通过提供一种圆盘形金属支架，所述圆盘形金属支架具有一个或者多个沟槽，SEM样品置于所述沟槽中，由此，将SEM样品包装成了完整晶圆的形状，从而便可利用通常只能观察完整晶圆的在线SEM进行观察，克服了现有技术中在线SEM不能进行SEM样品/截面观察，或者需要配备FIB功能，从而导致成本高昂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 在线 sem 观察 样品 夹具 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在线SEM观察的SEM样品夹具，其特征在于，包括：圆盘形金属支架，所述圆盘形金属支架边缘设置有Notch槽口；所述圆盘形金属支架具有一个或者多个沟槽。
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