[发明专利]光学位置测量装置有效
| 申请号： | 201210137536.9 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102768014A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 米夏埃尔·赫尔曼 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴孟秋;李慧 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学位置测量装置，用于检测两个能相对彼此沿着至少一个测量方向运动的对象的位置。其一方面包括量具，与两个对象之一连接并具有在测量方向上延伸的增量刻度。设有扫描单元，与两个对象中另一个连接并包括光源、光栅和探测器布置。其包括布置在探测平面中的探测器元件的组，在两个对象相对运动时能通过探测器元件由对探测平面中得到的周期性条纹图案进行的扫描来产生多个与位置相关的、相移的扫描信号；具有相同相位扫描信号的探测器元件分别形成一个组。一个组的探测器元件的总面积与每个其它组的探测器元件的总面积一致；其面积重心与每个其它组探测器元件的面积重心一致。在探测器元件的感光面的前方布置周期性挡板结构。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光学位置测量装置，用于检测两个能相对彼此沿着至少一个测量方向（x）运动的对象的位置，所述光学位置测量装置具有：‑量具（10），所述量具与所述两个对象中的一个连接并且包括在测量方向（x）上延伸的增量刻度（12），‑扫描单元（20），所述扫描单元与两个对象中的另一个连接，并且包括光源（23）、一个或者多个光栅以及探测器布置（27；127），其中‑所述探测器布置（27；127）包括多个布置在一个探测平面中的探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）的组，在所述两个对象相对运动的情况下，能通过所述探测器元件由对所述探测平面中得到的周期性条纹图案进行的扫描来产生多个与位置相关的、相移的扫描信号，并且具有相同相位扫描信号的所述探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）分别形成一个组，其中‑一个组的所述探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）的面积总和与每个其它组的所述探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）的面积总和一致，并且‑一个组的所述探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）的面积重心与每个其它组的所述探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）的面积重心一致，并且在所述探测器元件（27.1‑27.4；127.1‑127.4）的感光面的前方布置了周期性的挡板结构（29；129）。
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