[发明专利]一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法

摘要

本发明公开了一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，属于材料制备方法技术领域。所述的清洗方法通过双氧水超声、超纯水超声、丙酮超声、乙醇超声、吹干、擦拭、烘烤和等离子体清洗器清洗，获得清洗干净的玻璃衬底，最后可以在玻璃衬底表面进行镀膜。本发明提供的清洗方法中未使用强酸强碱，可以保证玻璃的表面不受破坏。本清洗方法操作简单，流程较短，不需要大的清洗装置和大量的清洗液，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。

主权项

一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于，所述的清洗方法具体通过如下步骤实现：第一步，先将玻璃衬底放入双氧水中超声清洗1～3分钟；第二步，将玻璃衬底放入超纯水中超声5～10分钟；第三步，将玻璃衬底放入丙酮中超声5～10分钟；第四步，将玻璃衬底放入乙醇中超声5～10分钟；第五步，用氩气将玻璃衬底吹干；第六步，用干净的丝绸擦拭玻璃衬底表面；第七步，将玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5～10分钟；第八步，将玻璃衬底放入等离子体清洗器清洗3～5分钟；在清洗干净的玻璃衬底表面进行镀膜。