[发明专利]太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置

摘要

本发明公开了一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，其包括一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；一不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；一中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；两块铝质门板，所述铝质门板安装于装置两侧；两块堵头板，所述堵头板分别安装于装置两端；所述上方通管和下方通管与装置内电池片放置区域之间均设有一金属板，所述金属板的厚度与装置内电池片厚度一致。本发明能明显改善装置中反应气体在非晶硅沉积空间内的气流分布的均匀性，进而达到提高对太阳能转换效率的效果。

主权项

一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积装置，包括:一不锈钢上方通管(2)，所述上方通管(2) 横截面呈上、中、下三层空间；一不锈钢下方通管(3)，所述下方通管(3) 横截面呈上、下两层空间；一中心铝电极板(4)，所述中心铝电极板(4) 的一端安装有一铜质电极杆(10) ；两块铝质门板(5)，所述铝质门板(5) 安装于装置两侧；两块堵头板(11)，所述堵头板(11) 分别安装于装置两端；其特征在于：所述上方通管(2) 和所述下方通管(3) 的内端与装置内待加工的电池片(17) 放置区域之间均设有一金属板(12)，所述金属板（12）固定连接在所述铝质门板(5)上，所述金属板(12) 的厚度与装置内电池片(17) 厚度一致；所述中心铝电极板(4)周围套有呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条。