[发明专利]用于超快电子衍射和超快电子显微镜的电子源装置有效
| 申请号： | 201210120441.6 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN102629542A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 刘圣广;王西杰;朱鹏飞;陈洁 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01J37/065 | 分类号： | H01J37/065;G01N23/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于超快电子衍射和超快电子显微镜的电子源装置，包括低功率微波信号源，移相器、固态放大器和速调管、衰减器和环流器，沿所述的低功率微波信号源输出的微波信号方向依次是第一移相器、固态放大器和速调管，在所述的速调管的输出端与功率分配器的输入端相连，该功率分配器将所述的速调管输出的兆瓦级微波信号分为两路：第一路微波信号依次经所述的第一衰减器和环流器输入到电子枪前部的1.5腔内，第二路微波信号依次经第二衰减器和第二移相器输入电子枪后部的单腔内。本发明将束流能散度由10-3抑制到10-5以下，提高了超快电子衍射的空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子衍射 电子显微镜 电子 装置 | ||
【主权项】：
一种用于超快电子衍射和超快电子显微镜的电子源装置，包括低功率微波信号源，第一移相器（1）、固态放大器（2）、速调管（3）、第一衰减器（5）和环流器（6），其特征在于，沿所述的低功率微波信号源输出的微波信号方向依次是所述的第一移相器（1）、固态放大器（2）和速调管（3），在该速调管（3）的输出端与功率分配器（4）的输入端相连，该功率分配器（4）将所述的速调管（3）输出的兆瓦级微波信号分为两路：第一路微波信号依次经所述的第一衰减器（5）和环流器（6）输入电子枪（7）前部的1.5腔内，该1.5腔用来加速电子束；第二路微波信号依次经第二衰减器（8）和第二移相器（9）输入电子枪（7）后部的单腔内，该单腔用来减小电子束团的能散。
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