[发明专利]一种投影光学系统有效
| 申请号： | 201210118312.3 | 申请日： | 2012-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102621668A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | 张家港鹏博光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/06 | 分类号： | G02B13/06;G02B13/22;G02B13/00;G02B27/12;G02B3/00;G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人： | 祁凯娟 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，该投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度；所述后组包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和第六镜组具有正光焦度，所述第五镜组具有负光焦度；所述前组和后组关于所述孔径光阑对称，并满足一定的关系式。采用本发明的投影光学系统，不仅能有效地校正各项像差，扩大像方视场尺寸，提高成像质量；而且镜片口径小，不包含非球面镜片，大幅度降低了加工，检测和装校的难度和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度，所述第二镜组位于所述第一镜组和第三镜组之间，所述第一镜组位于所述物平面和第二镜组之间；所述后组包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和第六镜组具有正光焦度，所述第五镜组具有负光焦度，所述第五镜组位于所述第四镜组和第六镜组之间，所述第六镜组位于所述像平面和第五镜组之间；所述前组和后组关于所述孔径光阑对称，所述的投影光学系统满足：关系式1：0.2＜fl/fa＜1.4；关系式2：‑0.4＜f2/fa＜‑0.06；关系式3：0.12＜f3/fa＜0.6，其中，fl：第一镜组的组合焦距；f2：第二镜组的组合焦距；f3：第三镜组的组合焦距；fa：前组的组合焦距。
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