[发明专利]一种双平面超分辨成像透镜的制备方法

摘要

本发明提供一种双平面超分辨成像透镜的制备方法，其步骤为：在紫外透明的基片上制备亚微米级深度的平底凹槽，凹槽平行于基片表面的截面形状为圆形、正方形、正八边形或长方形；在基片上涂布一层银的前驱体溶液，银的前驱体溶液在表面张力的作用下会在凹槽位置形成弧面膜层，经加热或紫外光照射后前驱体溶液固化为银膜；然后在银膜层上涂布一层溶胶状介质，溶胶状介质在表面张力的作用下会在凹槽位置形成另一个弧面膜层，经加热后溶胶状介质固化为介质膜；依此类推，直到将凹槽填平，就得到了物面和像面均为平面的缩放倍率超分辨成像透镜。本发明该双平面缩放倍率超分辨成像透镜能够二维或一维的缩小光刻或放大成像。

主权项

一种双平面超分辨成像透镜的制备方法，其特征在于：该方法步骤如下：步骤(1)在紫外透明的基片上制备亚微米级深度的平底凹槽，凹槽平行于基片表面的截面形状为圆形、正方形、正八边形或长方形；步骤(2)在基片上旋涂一层银的前驱体溶液，前驱体溶液在表面张力的作用下会在凹槽位置形成弧面膜层，经加热或紫外光照射后前驱体溶液固化为银膜，所述银膜层的厚度为8nm至50nm；步骤(3)采用旋涂的方法在沉积了一层银膜层的凹槽里涂布一层可固化的介质溶胶层，介质溶胶层在表面张力的作用下会在凹槽里形成弧面膜层，经加热处理后介质溶胶层固化为介质层；所述介质层固化后的厚度为8nm至50nm；步骤(4)在所述凹槽里交替涂布、固化银膜层和涂布、固化介质层，得到银层和介质层交替组成的多层弧面膜层，直到将凹槽填平，即制备得到两面均为平面的缩放倍率超分辨成像透镜；根据消逝波垂直于银层表面传播的特性，利用多层弧面膜层的弧面结构可以实现光波的曲线传播，达到缩放倍率超分辨成像功能。