[发明专利]一种使用抛光盘接引盘的抛光系统和方法有效
| 申请号： | 201210106356.4 | 申请日： | 2012-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102615589A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张世波;胡孟君;徐国科;卢锋;厉惠宏;李自炳;周明飞;林晓华;刘建刚 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/07 | 分类号： | B24B37/07;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用抛光盘接引盘的抛光系统和方法。该系统包括抛光头和接引盘系统，抛光头上安装有用于吸附抛光盘的真空吸头；抛光盘下表面设置有喷淋系统；接引盘系统的接引盘上表面设有喷淋口和注水口；喷淋口通过设置在接引盘内的管道与注水口相连。方法包括以下步骤：根据抛光盘、硅抛光片和抛光设备的尺寸要求，选择对应的接引盘系统；抛光结束后，带着抛光盘的抛光头微微升起旋转，启动抛光盘下表面的喷淋系统，对旋转的抛光盘上的硅抛光片进行喷淋；将接引盘系统导入，使接引盘系统到达抛光盘正下方后，开启接引盘的喷淋。本发明可以解决硅抛光片由于抛光布上残余的抛光液和颗粒带来的抛光片表面的不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 抛光 接引 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种使用抛光盘接引盘的抛光系统，包括抛光头(1)和接引盘系统，所述抛光头(1)上的抛光盘(2)的形状和接引盘系统的接引盘(3)的形状相互匹配使接引盘(3)能够接引抛光盘(2)，其特征在于，所述抛光头(1)上安装有用于吸附抛光盘(2)的真空吸头(4)；所述抛光盘(2)下表面设置有喷淋系统(5)；所述接引盘系统的接引盘(3)上表面设有喷淋口(6)和注水口(7)；所述喷淋口(6)通过设置在所述接引盘内的管道与注水口(7)相连。
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