[发明专利]一种平板式氧传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种平板式氧传感器及制备方法，包括由七层厚度为0.2-0.25mm的氧化锆陶瓷生片制备成的传感器芯片，芯片从上往下依次为第一层与第二层陶瓷生片组成的信号功能层、第三层与第四层和第五层陶瓷生片组成的参考通道功能层，第六层与第七层陶瓷生片组成的加热功能层，第一层陶瓷生片的上表面上设置外电极和信号电极引脚,外电极上设置多孔保护层，信号电极引脚上设置引线保护层，第二层和第三层陶瓷生片之间设置参考电极，第五层和第六层陶瓷生片之间设置加热器，加热器上、下分别设置加热器上、下绝缘层，加热器上连接加热电极引脚。制备方法包括陶瓷生片的制备、定型、印刷、叠压以及传感器的烧结。

主权项

一种平板式氧传感器，包括由七层厚度为0.2‑0.25mm的氧化锆陶瓷生片制备而成的传感器芯片，其特征在于：所述传感器芯片从上往下依次为第一层陶瓷生片（14）与第二层陶瓷生片（15）组成的信号功能层、第三层陶瓷生片（16）与第四层陶瓷生片（17）和第五层陶瓷生片（18）组成的参考通道功能层，第六层陶瓷生片（19）与第七层陶瓷生片（20）组成的加热功能层，第一层陶瓷生片（14）的上表面上设置有外电极（3）和信号电极引脚（4）, 外电极（3）上设置有多孔保护层（1），信号电极引脚（4）上设置有引线保护层（2），第二层陶瓷生片（15）和第三层陶瓷生片（16）之间设置有参考电极（6），第五层陶瓷生片（18）和第六层陶瓷生片（19）之间设置有加热器（10），加热器（10）上、下分别设置加热器上绝缘层（9）、加热器下绝缘层（11），加热器（10）上连接有加热电极引脚（13）。