[发明专利]薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀设备无效
| 申请号： | 201210100793.5 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102626831A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 景超 | 申请（专利权）人： | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀设备，包括激光发射器、光路传输器、光束整形器、成像器、监控器、控制器、操作平台，所述激光发射器向太阳能材料背面发射光线，所述光路传输器控制光线的传输，所述光束整形器调整瞬时光线的均匀度，所述成像器显示刻蚀结果，所述监控器对刻蚀过程全程在线监控记录，所述控制器对刻蚀自动化控制，所述操作平台供放置太阳能材料。本发明的优点是设备自动化程度高，整套设备满足大幅面、跨尺度、高速制造能力，多光束激光发射提高了刻蚀能量供给，加工效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 激光 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀设备，其特征在于：包括激光发射器、光路传输器、光束整形器、成像器、监控器、控制器、操作平台，所述激光发射器向太阳能材料背面发射光线，所述光路传输器控制光线的传输，所述光束整形器调整瞬时光线的均匀度，所述成像器显示刻蚀结果，所述监控器对刻蚀过程全程在线监控记录，所述控制器对刻蚀自动化控制，所述操作平台供放置太阳能材料。
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