[发明专利]基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片及制法无效
| 申请号： | 201210098358.3 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN102590941A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 郑伟伟;王毅强;王明华;杨建义;郝寅雷;商惠琴 | 申请（专利权）人： | 上海光芯集成光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/125;G02B6/138 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200072 上海市闸*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片及制法，该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成；所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部，与玻璃衬底上表面的距离为0～7500μm。制法包括以下步骤：镀膜、光刻、腐蚀、去胶、一次交换、二次交换、划片、研磨抛光。与现有技术相比，本发明可减小芯片的偏振依赖性以及消除芯片的内部应力，具有寿命长、稳定可靠等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 玻璃 离子交换 掩埋 波导 集成 光学 芯片 制法 | ||
【主权项】：
一种基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片，其特征在于，该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成；所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部，与玻璃衬底上表面的距离为0～7500μm。
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