[发明专利]测量装置以及等离子体处理装置

摘要

提供一种测量装置以及等离子体处理装置，提高波长分辨率而扩大可测量的被检体的范围。该测量装置(150)的特征在于，具备：衍射光栅(104)，其将厚度D的晶圆W的表面上反射的光以及在晶圆W的背面反射的光作为入射光而进行分光；光电二极管阵列(108)，阵列状地设置多个光电二极管(108a)来得到该电二极管阵列(108)，所述光电二极管(108a)接收由衍射光栅(104)分光得到的光并检测接收到的光的功率；以及压电元件(200)，其安装于光电二极管阵列(108)，将所输入的电压变换为力，其中，在由于压电元件(200)变换得到的力而使光电二极管阵列(108)沿阵列方向发生移动d/m位移时，光电二极管阵列(108)检测接收到的光的功率，m是2以上的整数，d是各光电二极管(108a)的阵列方向的宽度。

主权项

一种测量装置，其特征在于，具备：波长分散元件，其将在厚度D的被检体的表面反射的光和在上述被检体的内面反射的光作为入射光来进行分光；检测器，将多个光检测元件阵列状地设置来得到该检测器，所述光检测元件接收由上述波长分散元件分光得到的光并检测接收到的光的功率；以及压电元件，其安装于上述检测器，将所输入的电压变换为力，其中，在由于上述压电元件变换得到的力而使上述检测器沿阵列方向发生位移d/m时，上述检测器检测上述接收到的光的功率，其中m是2以上的整数，d是各上述光检测元件沿阵列方向的宽度。