[发明专利]基于数字微镜器件的曲率波前传感器

摘要

本发明是一种基于数字微镜器件的曲率波前传感器，在透镜及其焦面位置之间放置数字微镜器件，利用数字微镜器件将经过透镜的待测光波分别向两个方向反射聚焦光波；两个光电探测器阵列分别位于数字微镜器件的两个方向上的两束反射聚焦光波上并分别探测两束反射聚焦光波不同位置点的远场光强分布图像，获得焦平面前后对称离焦面上的两幅有差异的远场光强分布图像；根据菲涅尔衍射理论和几何光学近似，得到两离焦面上对应点归一化的光强分布差与入射波前曲率以及光瞳边缘处波前的法向斜率之间的关系并利用泊松方程获取待侧光波的波前相位。

主权项

基于数字微镜器件的曲率波前传感器，其特征在于：由透镜、数字微镜器件以及第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列组成，其中：在透镜及其焦面位置之间放置数字微镜器件，利用数字微镜器件将经过透镜的待测光波分别向两个方向反射聚焦，得到第一方向和第二方向上的两束反射聚焦光波；第一光电探测器阵列位于数字微镜器件的第一方向上的第一束反射聚焦光波上，第一光电探测器阵列位于第一束反射聚焦光波上的第一位置点，且第一位置点与数字微镜器件的距离加上数字微镜器件与透镜的距离之和比透镜的焦距f小l距离值；第二光电探测器阵列位于数字微镜器件的第二方向上的第二束反射聚焦光波上，第二光电探测器阵列位于第二束反射聚焦光波上的第二位置点，第二位置点与数字微镜器件的距离加上数字微镜器件与透镜的距离之和比透镜的焦距f大l距离值；第一光电探测器和第二光电探测器分别探测两束反射聚焦光波不同位置点的远场光强分布图像，获得焦平面前后对称离焦面上的两幅有差异的远场光强分布图像；根据菲涅尔衍射理论和几何光学近似，得到两离焦面上远场光强分布图像对应点归一化的光强分布差与入射波前曲率以及光瞳边缘处波前的法向斜率之间的关系并利用泊松方程获取待侧光波的波前相位。