[发明专利]具有多重防护功能的摄像机防护罩生产工艺

摘要

本发明涉及一种具有多重防护功能的摄像机防护罩生产工艺，包括步骤：a、切割玻璃双面抛光处理；b、对a步骤处理后玻璃进行清洗；c、对b步骤玻璃脱水、烘干处理；d、将c步骤玻璃送装于高真空光学镀膜机托盘，将W5三防膜料置于电子枪坩埚，对真空室进行抽真空操作；e、待真空室气压达到5X10-3帕斯卡后，充空气到1X10-1帕斯卡，离子轰击清洁玻璃表面10分钟，然后关闭充气阀直到真空室气压降低到3X10-3帕斯卡，进行三防镀膜，控制蒸发速率为0.3纳米/秒，待镀膜厚达到28nm时，关闭蒸发源挡板、电子枪和高真空大阀完成真空镀膜过程。

主权项

一种具有多重防护功能的摄像机防护罩生产工艺，其生产工艺步骤如下：a、将玻璃切割成预定的尺寸大小后，双面进行高速抛光处理；b、利用超声波光学清洗机对a步骤处理后得到的玻璃进行清洗；c、对经过b步骤清洗处理的玻璃进行脱水、烘干处理；d、将经过c步骤处理的玻璃送装于高真空光学镀膜机的真空室内的上托盘上，将W5三防膜料置于该高真空光学镀膜机的电子枪坩埚，之后关闭该高真空光学镀膜机的真空室舱门，启动抽气系统利用机械泵和油扩散泵对真空室进行抽真空操作；e、待真空室气压达到5×10‑3帕斯卡后，充空气到1×10‑1帕斯卡，进行离子轰击清洁玻璃表面10分钟，然后关闭充气阀，直到真空室内的气压降低到3×10‑3帕斯卡，打开电子枪电源进行三防镀膜，同时，利用石英晶体监控仪控制蒸发速率为0.3纳米/秒，待镀膜厚达到28nm时，关闭蒸发源挡板，关闭电子枪完成真空镀膜过程，同时关闭高真空大阀，静置十分钟，对真空室充气恢复到正常室压后，取出镀膜后的玻璃，整个镀膜工艺结束。