[发明专利]超精密大口径非球面形状测量机有效
| 申请号： | 201210082343.8 | 申请日： | 2012-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN102620678A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 赵惠英;赵则祥;杨和清;娄云鸽;陈伟;席建普;李彬;任东旭;陈健龙;张楚鹏;李志强;刘孟奇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身、X轴部件、Z轴部件、调心调平装置和半球定心平面支承转台，直线轴和回转轴均配置高精度光栅尺组成测量反馈系统；X轴包括主气体静压导轨、椭圆弧龙门架、辅气体静压导轨和X轴直线电机；Z轴包括八棱面花岗岩导柱、V型气浮轴承块、长度计和Z轴直线电机；调心调平装置包括转台面、万向调平板、转台下静压盘和驱动单元；转台下静压盘与天然花岗岩床身之间通过气体静压轴承支承。本发明测量机采用柱坐标测量方式，通过高精度接触式测头进行数据的快速采样，可实现大口径非球面、球面、柱面和平面零件(直径900mm)的高精度形状精度测量；操作简易，调节精度高，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 口径 球面 形状 测量 | ||
【主权项】：
一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，包括天然花岗岩床身(1)、X轴部件、Z轴部件和调心调平装置；X轴部件包括辅气体静压导轨(2)、椭圆弧龙门架(4)、主气体静压导轨(14)和X轴直线电机(19)；辅气体静压导轨(2)和主气体静压导轨(14)安装于天然花岗岩床身(1)两侧；椭圆弧龙门架(4)的两个末端，一端固定在辅气体静压导轨(2)上，另一端固定在主气体静压导轨(14)；Z轴部件包括八棱面花岗岩导柱(7)、V型气浮轴承块(8)、长度计(9)和Z轴直线电机(20)；两个V型气浮轴承块(8)通过螺栓连接在椭圆弧龙门架(4)上，用于调节Z轴的垂直度；八棱面花岗岩导柱(7)与对称连接的双V型气浮轴承块(8)组成气体静压导轨副，实现Z轴的上下运动；Z轴直线电机(20)的次级线圈与椭圆弧龙门架(4)固定连接，初级线圈与花岗岩导柱(7)连接；长度计(9)固定在花岗岩导柱(7)的内腔；调心调平装置包括转台面(11)、万向调平板(12)、转台下静压盘(13)和驱动转台下静压盘(13)转动的驱动单元；转台下静压盘(13)与天然花岗岩床身(1)之间通过气体静压轴承支承。
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