[发明专利]太阳能电池管式炉扩散工艺

摘要

本发明涉及一种太阳能电池管式炉扩散工艺，步骤如下：①开始进舟：舟速以300-500毫米/分钟放入硅片，在石英炉门离石英炉管管口0-10cm的地方停止并开始加热石英炉管；②停止进舟：停止1-30分钟；③慢速进舟：舟速50-300毫米/分钟继续前进直到炉门完全关闭；④石英炉管内加热升温至扩散工艺温度；⑤向石英炉管内通入工艺气体开始扩散；⑥达到扩散工艺时间后，停止通入工艺气体；⑦反正出舟：舟速300-500毫米/分钟取出硅片，完成扩散。本发明在第一步快速进舟所耗时间短，石英器件在较快速度下避免了相互碰撞；第二步停止后炉门处于石英炉管管口附近，此处温度较高，可以加热偏磷酸，使其粘度降低。

主权项

一种太阳能电池管式炉扩散工艺，所述的太阳能电池管式炉包括石英炉管(2)、石英炉门(1)、碳化硅桨(5)以及驱动碳化硅桨(5)移动的驱动装置，碳化硅桨(5)上放置石英舟，石英舟内装载待扩散处理的硅片，其特征在于具有如下步骤：①、开始进舟：驱动装置启动，舟速以300‑500毫米/分钟带动硅片进入石英炉管(2)中，在石英炉门(1)离石英炉管(2)管口0‑10厘米的地方停止并开始加热石英炉管(2)；②、停止进舟：驱动装置停止，停止1‑30分钟使偏磷酸升温从而降低粘度；③、慢速进舟：驱动装置启动，舟速50‑300毫米/分钟继续前进直到石英炉门(1)完全关闭；④、石英炉管(2)内加热升温至扩散工艺温度；⑤、向石英炉管(2)内通入工艺气体开始扩散；⑥、达到扩散工艺时间后，停止通入工艺气体；⑦、反向出舟：驱动装置启动，舟速300‑500毫米/分钟取出硅片，完成扩散。