[发明专利]具有环状电极的薄膜体声波谐振生化传感器无效
| 申请号： | 201210070931.X | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102621025A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 陈达;王璟璟;梁敏;李鹏 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有环状电极的薄膜体声波谐振生化传感器，包括上电极、下电极、压电薄膜和声隔离层，其中上电极为同圆心的内外两层圆环形状，由内层实心圆和外层空心圆环组成，下电极为与上电极为同圆心的空心圆环形状，上电极与下电极在圆环的垂直方向上没有重合区域。该技术方案获得了接近纯剪切波模式的薄膜体声波谐振生化传感器，在在液体中的灵敏性能有较大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 环状 电极 薄膜 声波 谐振 生化 传感器 | ||
【主权项】：
一种具有环状电极的薄膜体声波谐振生化传感器，包括上电极(1)、下电极(2)、压电薄膜(3)和声隔离层(4)，其特征在于，所述的上电极(1)为同圆心的内外两层圆环形状，由内层实心圆(1A)和外层空心圆环(1B)组成，所述的下电极(2)为与上电极(1)为同圆心的空心圆环形状，所述的上电极(1)与下电极(2)在圆环的垂直方向上没有重合区域。
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