[发明专利]一种基于双通道光栅的微小角位移传感器有效
| 申请号： | 201210061110.X | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102607468A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 方平 | 申请（专利权）人： | 方平 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 翁霁明 |
| 地址： | 311700 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于双通道光栅的微小角位移传感器：它主要包括：一可发生线状激光并通过一准直透镜会聚后射到被测物体上被反射的线状激光器，一可接收所述被反射的线状激光的聚焦透镜并被会聚，在该聚焦透镜之后设置有由会聚后线状激光分别照射并透过双通道光栅的一通道光栅和二通道光栅两个区域，对应于所述一通道光栅和二通道光栅两个区域设置有分别接收线状激光的一通道光电探测器和二通道光电探测器，所述一通道光电探测器和二通道光电探测器的输出端口分别与一实时信号处理电路的输入端口相连；它具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点，可应用于高频永磁力矩马达等元件的微小角位移的静动态特性的在线或离线检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双通道 光栅 微小 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于双通道光栅的微小角位移传感器，其特征在于它主要包括：一可发生线状激光并通过一准直透镜(2)会聚后射到被测物体(1)上被反射的线状激光器(3)，一可接收所述被反射的线状激光的聚焦透镜(4)并被会聚，在该聚焦透镜(4)之后设置有由会聚后线状激光分别照射并透过双通道光栅(5)的一通道光栅和二通道光栅两个区域，对应于所述一通道光栅和二通道光栅两个区域设置有分别接收线状激光的一通道光电探测器(6)和二通道光电探测器(7)，所述一通道光电探测器(6)和二通道光电探测器(7)的输出端口分别与一实时信号处理电路(8)的输入端口相连。
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