[发明专利]一种闭环压电薄膜泵及流量控制方法有效
| 申请号： | 201210050805.8 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102536755A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;陈涛;刘吉柱;陈立国;汝长海;王蓬勃;贺文元 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;F04B49/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块、进液阀以及出液阀，所述流量传感器和压电泵基体通过MEMS工艺集成为一整体结构，所述流量传感器设有微通道及信号转换模块，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电信号后反馈给电路控制模块，所述电路控制模块根据反馈的流量信号和目标流量体积信号比较后控制压电振子的运动变形量。本发明实施例的闭环压电薄膜泵通过将流量传感器和压电泵基体集成为一整体，减小了泵的体积；并通过流量传感器与电路控制模块的协同工作，实现了流体的流量闭环控制，提高了驱动流体的精度，该闭环压电薄膜泵可加工性好，便于进行一致性批量制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 闭环 压电 薄膜 流量 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块以及控制流体运动方向的进液阀与出液阀，所述压电泵基体设有管路以及形成于泵基体内的泵腔，所述压电振子、进液阀、出液阀均安装于泵基体上，其特征在于：所述流量传感器和压电泵基体通过MEMS工艺集成为一整体结构，所述流量传感器设有一个用以接收流体的微通道及一个信号转换模块，所述微通道在出液阀开启时与泵腔连通，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电信号后反馈给电路控制模块，所述电路控制模块根据反馈的流量信号和目标流量体积信号比较后控制压电振子的运动变形量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学，未经苏州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210050805.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
