[发明专利]一种微型电容式力学传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201210044921.9 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN102589760A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张珽;刘瑞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电极上，可动电极通过导电支撑柱的支撑保持悬空，固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。本发明采用固态介电层与空气介电层复合的双介电层结构，可以通过调节微型电容值的变化范围，适用于不同领域的测量，具有灵敏度高，动态性能好，能量损耗小，制备成本低的特点，并且能够适应较为恶劣的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 电容 力学 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微型电容式力学传感器，其特征在于，它包括衬底、固定电极、固态介质层和可动电极，所述固定电极固定设置于衬底上，所述固态介质层叠设在固定电极上，所述可动电极经弹性导电支撑结构平行悬设于固态介质层上方，且固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。
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