[发明专利]耐久高反射膜的制备方法

摘要

耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，然后通入氧气，镀膜，沉积，插入挡板，关闭氧气；五、过40～60分钟后抽开挡板，再过10～20分钟后插入挡板；六、然后通入氧气，压强在0.1～2Pa，过6～10分钟后，抽开挡板，30～50分钟后插入挡板，关机；即制得耐久高反射膜。本发明制备的膜稳定牢固结合的、耐久的、具有高反射率的氧化铝-铝-氧化铝的膜层材料体系，能够满足军用光学部件对气动热力条件的适应性要求。

主权项

耐久高反射膜的制备方法，其特征在于耐久高反射膜的制备方法是按下述步骤进行的：步骤一、先将硫化锌衬底用丙酮超声波清洗15～30min，然后用乙醇清洗15～30min，再用去离子水清洗15～30min；步骤二、将经步骤一处理过的硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，对真空仓内进行抽真空至真空度达到3.0×10‑4～2.0×10‑4Pa；步骤三、然后向真空仓内通入氩气，氩气流量控制在10～50mL/min，当真空仓内压强为3～5Pa时，对硫化锌衬底表面进行反溅清洗10～20min；步骤四、对铝靶施加60～200W的溅射功率启辉，预溅射3～5min，然后以5～10mL/min流量通入氧气，真空仓内气体压强控制在0.1～2Pa，对经步骤三处理过的硫化锌衬底表面镀膜，沉积30～50分钟后，插入挡板，关闭氧气；步骤五、过40～60分钟后抽开挡板，再过10～20分钟后插入挡板；步骤六、然后通入氧气，氧气的流量仍控制在5～10mL/min，调整真空仓内气体将压强控制在0.1～2Pa，过6～10分钟后，抽开挡板，30～50分钟后插入挡板，关机；即制得耐久高反射膜。