[发明专利]一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置无效
| 申请号： | 201210027076.4 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN102566340A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 朱江平;胡松;唐燕;陈铭勇;唐路路;何渝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 顾炜;许玉明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字微反射镜装置产生具有恒定相移的数字光栅；数字微反射镜将对准光反射到光刻物镜并由第二分色分光镜透射，将相移数字光栅依次投影到硅片上与硅片上的光栅标记叠加；硅片反射对准光，再经过第二分色分光镜反射的对准光被CCD接收；CCD采集莫尔条纹图像是相移数字光栅与硅片上的标记光栅相叠加产生的多帧具有一定相移间隔的莫尔条纹图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相移 莫尔 条纹 数字 无掩模 光刻 对准 装置 | ||
【主权项】：
一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，其特征在于：该装置包括计算机(119)、对准光源(111)、曝光光源(110)、数字微镜(113)、光刻物镜(114)、硅片(116)、CCD成像器件(117)、位移工件台(118)、第一分色分光镜(112)和第二分色分光镜(115)；第一分色分光镜(112)接收对准光反射到数字微镜(113)上；计算机(119)控制数字微镜(113)产生具有恒定相移的数字光栅；数字微镜(113)将对准光反射到光刻物镜(114)并由第二分色分光镜(115)透射，将相移数字光栅依次投影到硅片(116)上与硅片上的光栅标记叠加；硅片(116)反射对准光，再经过第二分色分光镜(115)反射的对准光被CCD成像器件(117)接收；CCD成像器件(117)采集莫尔条纹图像是相移数字光栅与硅片上的标记光栅相叠加产生的多帧具有一定相移间隔的莫尔条纹图像；多帧相移莫尔条纹图通过计算机(119)中已设计好的基于傅里叶变换和相移技术相位解析法解调相位信息，完成光栅标记的标定，并求解硅片(116)的位移和旋转量，并反馈给位移工件台(118)实现对准。
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