[发明专利]石墨烯晶体管及其生物传感器的制作与应用方法

摘要

本发明公开提供一种石墨烯晶体管及其生物传感器的制作与应用方法，该方法价格低廉且避免了石墨烯晶体管表面的化学污染，适合石墨烯晶体管与现有电子器件的集成化制作与规模化生产；针对石墨烯晶体管传感器的选择性较差的问题，进一步提出了制作基于石墨烯晶体管的生物传感器的方法，在石墨烯晶体管表面生长氧化锌纳米线或金属纳米颗粒的方法，晶体管表面的纳米材料有利于吸附具有专一识別功能力的生物活性物质(如酶，DNA，RNA，适体，抗原或抗体等)，使得石墨烯晶体管通道具有选择性吸附目标分析物的能力，提高了基于石墨烯晶体管通道的传感器的灵敏度和选择性。

主权项

一种制作石墨烯晶体管的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一，在基板上蒸镀上一层导电层；步骤二，将光刻胶涂覆在导电基板上；步骤三，光刻技术将所设计的晶体管电极图案印在光刻胶上；步骤四，将印上图案的光刻胶的导电基板浸入磺酸镍和硼酸溶液中进行镍电化学沉积；步骤五，基板放入丙酮溶液中，使用高频超声波振动处理，将镍掩模与基板分离；步骤六，镍掩模置于粘附了石墨烯晶体的氧化硅晶片上，使用蒸镀机将电极材料通过掩模在石墨烯晶体管上镀上电极图案。