[发明专利]一种便携式多功能真空校准系统及方法

摘要

本发明涉及一种便携式多功能真空校准系统及方法，属于测量技术领域。校准系统包括机械泵1、分子泵2、第一真空阀门3、第二真空阀门4、第三真空阀门8、第四真空阀门10、第五真空阀门11、第六真空阀门17、第七真空阀门19、第八真空阀门23、第九真空阀门15、校准室5、四极质谱计6、第一小孔9、第二小孔20、微调阀12、气源13、第一真空规14、第二真空规18、第三真空规21、第五真空规24和稳压室16，包括校准真空漏孔的方法和校准真空规的方法。系统复合了真空规和气体微流量校准功能，能够对真空规、真空漏孔、检漏仪及气体微流量计进行现场或在线校准，具有功能多、精度高、重量小、体积小、便携等特点。

主权项

一种便携式多功能真空校准系统，待校准设备为第四真空规(22)和真空漏孔(7)，其特征在于，包括机械泵(1)、分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、第六真空阀门(17)、第七真空阀门(19)、第八真空阀门(23)、第九真空阀门(15)、校准室(5)、四极质谱计(6)、第一小孔(9)、第二小孔(20)、微调阀(12)、气源(13)、第一真空规(14)、第二真空规(18)、第三真空规(21)、第五真空规(24)和稳压室(16)，其中第一真空规(14)、第三真空规(21)、第五真空规(24)均为电容规；机械泵(1)和分子泵(2)连接，分子泵的另一端与第一真空阀门(3)和第二真空阀门(4)连接，第二真空阀门(4)的另一端与校准室(5)连接，第一真空阀门(3)的另一端与稳压室(16)连接，校准室(5)的赤道法兰上安装了四极质谱计(6)、第七真空阀门(19)、第三真空规(21)、第八真空阀门(23)和待校准的第四真空规(22)，校准室(5)的抽气口有限流用第二小孔(20)，校准室(5)的顶端与第三真空阀门(8)、第一小孔(9)和第四真空阀门(10)连接，第三真空阀门(8)的另一端与被校准漏孔(7)连接，第四真空阀门(10)和第一小孔(9)的另一端均与第五真空阀门(11)连接，第五真空阀门(11)的另一端与微调阀(12)和稳压室(16)连接，微调阀(12)的另一端与气源(13)连接，稳压室(16)上安装第九真空阀门(15)和第六真空阀门(17)，第九真空阀门(15)与第一真空规(14)连接，第六真空阀门(17)与第二真空规(18)连接，第二真空规(18)的另一端与第七真空阀门(19)连接，第八真空阀门(23)与第五真空规(24)连接，系统的待校准漏孔(7)放置在采用泡沫保温的恒温箱中。