[发明专利]多轴传感器及其制作方法、差分的传感器系统

摘要

本发明提供一种多轴传感器，包括：衬底；固定于衬底之上的质量块支撑；第一传感器的第一惯性质量块以及第二传感器的第二惯性质量块位于衬底之上且与衬底分隔开，所述第一惯性质量块包围第二惯性质量块且与第二惯性质量块间具有间隔；所述质量块支撑位于所述间隔内；所述第一惯性质量块通过第一弹性结构连接至所述质量块支撑，所述第二惯性质量块通过第二弹性结构连接至所述质量块支撑。通过各自的弹性结构连接到共同的质量块支撑上，减少了质量块支撑的分布和设计，有利于简化与其他连线层电连接，减小了连线布局的面积，同时，质量块支撑可以使第一惯性质量块和第二惯性质量块在机械上实现隔离，保证了各自独立移动，避免了交叉轴效应。

主权项

一种多轴传感器，其特征在于，包括：衬底；固定于衬底之上的质量块支撑；第一传感器，用于测量沿着垂直于衬底平面的轴的加速度；第二传感器，用于测量沿着平行于衬底平面的至少一个轴的加速度；其中，所述第一传感器的第一惯性质量块以及所述第二传感器的第二惯性质量块位于衬底之上且与衬底分隔开，所述第一惯性质量块包围第二惯性质量块且与第二惯性质量块间具有间隔；所述质量块支撑位于所述间隔内；所述第一惯性质量块通过第一弹性结构连接至所述质量块支撑，所述第二惯性质量块通过第二弹性结构连接至所述质量块支撑。