[发明专利]一种具有新型光敏区结构的大流量尘埃粒子计数传感器

摘要

本发明公开了一种具有新型光敏区结构的大流量尘埃粒子计数传感器，在大功率半导体激光光源发出的光束前进的方向上，依次设有非球面镜、入射光阑、出射光阑和光陷阱，与光路垂直方向上设置球面反射镜、视场光阑、光电探测器，光敏区和光电探测器光敏面的位置分别位于该球面反射镜球心的两侧，并满足几何物像关系，气路系统由一个采样气嘴和一个出气嘴组成，采样气嘴的口径小于出气嘴的口径，且两者相对于光敏区不对称设置。本发明结构简单、体积小、计数效率高，粒径分辨率高，可以实现不低于50L/min大流量尘埃粒子采样的准确高效检测。

主权项

一种具有新型光敏区结构的大流量尘埃粒子计数传感器，包括光源[1]、非球面镜[2]、第一入射光阑[3]、第二入射光阑[4]、球面反射镜[6]、出射光阑[7]、光陷阱[8]、视场光阑[9]和光电探测器[10]；在激光器光源[1]发出的光束前进的方向上，依次设有非球面镜[6]、第一入射光阑[3]、第二入射光阑[4]、出射光阑[7]和光陷阱[8]；与光路垂直的方向上依次设有球面反射镜[6]、视场光阑[9]和光电探测器[10]；光源[1]发出截面为矩形的发散光束，矩形长边方向的光束经过非球面镜[2]会聚于出射光阑[7]的前端口，矩形短边方向的光束经过非球面镜[2]会聚于出射光阑[7]的后端口，形成了扁长的光敏区[5]；光敏区[5]和光电探测器[10]的光敏面的位置分别位于该球面反射镜[6]球心的两侧，并满足几何光学的物像关系；视场光阑[9]置于光电探测器[10]的前面；采样气路由一个采样气嘴[13]和一个出气嘴[14]组成，采样气嘴[13]的口径小于出气嘴[14]的口径，且相对于光敏感区[5]不对称设置。