[发明专利]用于掩模组件间接对位的系统有效
| 申请号： | 201210010670.2 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205670B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;孙倩 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于掩模组件间接对位的系统。该系统包括对位基台，具有对位销钉以定位其上放置的掩模框架；掩模板，具有开口图形区域以及至少两个对位孔；掩模框架，其边框上与掩模板对位孔相对应的位置上具有对位孔，且掩模框架对位孔的直径大于掩模板对位孔的直径；对位辅助板，其尺寸与掩模板的尺寸相同且其对位孔与掩模板对位孔的相对位置相同，其中对位辅助板对位孔的直径与掩模框架对位孔的直径相同；以及CCD，自上而下捕捉对位辅助板对位孔或掩模板对位孔与相应的掩模框架对位孔的位置图像以检测对位。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模组 间接 对位 系统 | ||
【主权项】：
一种用于掩模组件间接对位的系统，包括：对位基台，具有至少两个对位销钉以定位水平放置在对位基台上的掩模框架；掩模板，具有满足蒸镀要求的开口图形区域以及处于对角位置且在开口图形区域外的至少两个对位孔；掩模框架，其边框上与掩模板对位孔相对应的位置上具有对位孔，且掩模框架对位孔的直径大于相对应的掩模板对位孔的直径；对位辅助板，其尺寸与掩模板的尺寸相同且其对位孔与掩模板对位孔的相对位置相同，其中对位辅助板对位孔的直径与掩模框架上相对应位置处的对位孔的直径相同；以及CCD，自上而下捕捉对位辅助板对位孔或掩模板对位孔与相应的掩模框架对位孔的位置图像以检测对位。
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