[发明专利]一种利用抛物面反射镜测量光栅衍射效率的方法及系统

摘要

本发明涉及一种利用抛物面反射镜测量光栅衍射效率的方法及系统，将抛物面反射镜引入到测量系统。抛物面反射镜的特点是将从焦点发出的所有光经抛物面反射镜反射，反射光束都沿平行于光轴方向，经垂直于反射镜光轴的凸透镜汇聚于凸透镜后焦平面焦点位置，探测器的探头固定在凸透镜后焦平面焦点位置。这样照明光波以任意角度入射到光栅上的光都可以被探测器探头接收。本发明在大角度范围内实时的接受衍射光能量，对衍射光能量进行全程探测，节省了系统空间，缩小体积和减轻其重量，同时实现了衍射效率的实时定点测量。此外，只需整体调整抛物面反射镜、光栅入射点及探测器探头位置，即可适用于不同探测角度范围需求，具有很高的通用性。

主权项

一种利用抛物面反射镜测量光栅衍射效率的方法，其特征在于步骤如下：步骤1：将激光器发出光按能量1∶1的比例分为第一光束和第二光束；步骤2：将其中第一光束进行准直为直径小于1mm的平行光束并以入射角照射到被测光栅上，调整入射角的入射点位于抛物面反射镜的焦点处；光束经被测光栅衍射后再经过抛物面反射镜反射形成平行于光轴方向的光束，再经过凸透镜会聚于一点，测量该点的光强数值；步骤3：用测量得到的会聚点处的光强数值除以步骤1分束后的第二光束光强的两倍，得到被测光栅的衍射效率。