[其他]可转换的气体团簇和原子离子枪有效
| 申请号: | 201190000794.1 | 申请日: | 2011-10-10 |
| 公开(公告)号: | CN203466162U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
| 发明(设计)人: | B.巴纳德 | 申请(专利权)人: | VG系统有限公司 |
| 主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 臧永杰;卢江 |
| 地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB |
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| 摘要: | 在此提供了一种可转换的离子枪,该离子枪包括:用于产生气体团簇的一个气体膨胀喷嘴(4);用于电离这些气体团簇和气体原子的一个电离室;以及一个可变(优选地一个磁性扇区)质量选择器(50),该可变质量选择器用于质量选择这些电离气体团簇和电离气体原子以便产生在基本上包括电离气体团簇与基本上包括电离气体原子之间可变的一个离子束。优选地,该枪包括一个电浮式飞行管(52)用于调整在该质量选择器内时的这些离子的能量。 | ||
| 搜索关键词: | 转换 气体 原子 离子 | ||
【主权项】:
一种可转换的离子枪,包括: 一个气体膨胀喷嘴,该气体膨胀喷嘴用于在气体原子的存在下通过一种气体穿过该喷嘴的膨胀来产生气体团簇; 一个电离室,该电离室用于电离这些气体团簇和气体原子; 一个可变质量选择器,该可变质量选择器用于质量选择这些电离气体团簇和电离气体原子,以便产生在基本上包括电离气体团簇与基本上包括电离气体原子之间可变的离子束。
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