[发明专利]垂直腔面发射激光器

摘要

本发明公开了垂直腔面发射激光器(“VCSEL”)和VCSEL阵列。一方面，面发射激光器包含光栅层和孔隙层，所述光栅层与反射层形成用于从光发射层发射的光的波长的共振腔，所述孔隙层设置于所述共振腔内。VCSEL包含设置于所述光栅层和所述光发射层之间的电荷载流子传输层。所述传输层具有与亚波长光栅相邻的间隙以及所述间隙和所述光发射层之间的间隔区域。所述间隔区域和间隙被制作成具有对所述波长基本透明的尺度。所述孔隙层引导电荷载流子进入所述光发射层的与所述孔隙层中的孔隙相邻的区域，并且所述孔隙限制从所述光发射层发射的光模。

主权项

一种面发射激光器，包含：光栅层，所述光栅层具有亚波长光栅，以与反射层形成用于从光发射层发射的光的波长的共振腔；孔隙层，所述孔隙层具有孔隙，所述孔隙层设置于所述共振腔内；以及电荷载流子传输层，所述电荷载流子传输层设置于所述光栅层和所述光发射层之间，所述传输层具有与所述亚波长光栅相邻的间隙以及所述间隙和所述光发射层之间的间隔区域，所述间隔区域和所述间隙被制作成具有对所述波长基本透明的尺度，所述孔隙层引导电荷载流子进入所述光发射层的与所述孔隙相邻的区域，并且所述孔隙限制从所述光发射层发射的光模。