[发明专利]微型化的集成微机电系统(MEMS)光学传感器阵列有效
| 申请号： | 201180063358.3 | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103430018A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | H.尤里;B.E.阿拉卡;E.蒂穆多甘 | 申请（专利权）人： | KOC大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马红梅;王忠忠 |
| 地址： | 土耳其伊*** | 国省代码： | 土耳其;TR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 这个发明描述了一种使用传感元件的阵列的用于致动和多路复用传感的方法和装置。本发明能够用于健壮的微型化封装中生物和化学试剂的无标记检测。本发明集成光子装置、CMOS电子装置以及微米/纳米系统技术并且允许相同封装中的多分析物传感。所优选的致动方法是使用磁薄膜并且优选的传感方法是使用光学的干涉装置。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 集成 微机 系统 mems 光学 传感器 阵列 | ||
【主权项】：
一种用于传感共振频率改变的装置，其包括：至少一个致动装置；耦合到所述致动装置的至少一个振动机械结构；与所述振动机械结构耦合的至少一个光源；与每个振动机械结构和所述源耦合的至少一个干涉装置；以及监测从所述干涉装置反射的光的至少一个光检测器；和耦合到所述振动机械结构的至少一个加热元件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于KOC大学，未经KOC大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180063358.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：在触摸感应设备的初始化过程中的导电物体的探测
- 下一篇：单相智能电能表
